檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "李維楨".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="射頻功率"
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焦電薄膜感測器是以溫度變化產生焦電訊號。本文分別使用三種射頻源功率90W、120W及150W進行單階段濺鍍氧化鋅焦電薄膜,及此三種射頻源功率構成六種組合以雙階段的濺鍍技術沈積氧化鋅焦電薄膜。氧化鋅焦…